ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກ

ຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກປະຈຸບັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນໂມດູນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ຂໍ້ດີ: ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, toughness ແລະ conductivity ຄວາມຮ້ອນ
ຊິລິໂຄນ nitride ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງກວ່າອາລູມິນຽມ nitrideຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນແມ່ນເກີນ 80 ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ. Silicon ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ກັບໂມດູນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, ເຊັ່ນ: ໂມດູນ IGBT, ແລະຕັນມາດຕະຖານລົດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບໂມດູນການທະຫານ, ຍານອາວະກາດ.
ໄດ້ຊັ້ນໃຕ້ດິນເຊລາມິກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງແລະຄວາມເຄັ່ງຄັດ. ໃນປັດຈຸບັນ, ເນື່ອງຈາກວ່າໂມດູນພະລັງງານນີ້ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ເກີນໄປ, ຄວາມຫນາຂອງທອງແດງທີ່ຕ້ອງການແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ (ຢ່າງຫນ້ອຍ 500um ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ). ຈາກຕອນນີ້ພວກເຮົາໄດ້ເຮັດແລ້ວ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການຕິດຕາມ silicon nitride ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ຄວາມຫນາຂອງທອງແດງຍັງຕໍ່າ (ບາງໂມດູນ IGBT ທີ່ຕ້ອງການກະແສໄຟຟ້າສູງ)